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HEMTHAVYPASOMPHONE 2018年 研究業績一覧 (4件 / 87件)
国内会議発表 (査読なし・不明)
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河鰭 康平,
HEMTHAVYPASOMPHONE,
高橋邦夫,
齋藤滋規.
微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響,
日本機械学会第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」,
日本機械学会第9回マイクロ・ナノシンポジウム講演論文集,
Oct. 2018.
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工藤健太,
若林一貴,
HEMTHAVYPASOMPHONE,
高橋邦夫,
齋藤滋規.
集合梁構造を持つ双極型静電吸着装置による対象物離脱のための手先軌道の実験的検討,
2018年度精密工学会春季大会,
精密工学会学術講演会講演論文集,
公益社団法人精密工学会,
p. 51-52,
Mar. 2018.
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児玉理央,
若林一貴,
HEMTHAVYPASOMPHONE,
高橋邦夫,
齋藤滋規.
表面に凹凸形状を有する誘電体の把持・離脱を目的とした微細毛構造を持つ双極型静電吸着装置の配列密度に関する実験的検討,
2018年度精密工学会春季大会,
精密工学会学術講演会講演論文集,
公益社団法人精密工学会,
p. 53-54,
Mar. 2018.
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サリユコフミハイル,
井口洋二,
HEMTHAVYPASOMPHONE,
齋藤滋規,
高橋邦夫.
くし状構造の積層による側面接触型弾性梁集合体の試作,
24rd Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics” Mate2018,
24rd Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics”,
pp. 261-264,
Jan. 2018.
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