@misc{CTT100573115, author = {渡辺隆行 and 根津篤 and 左高 良一 and 山本 兼司 and 西村 真}, title = {立方晶窒化ホウ素の形成方法およびそのための装置}, howpublished = {登録特許}, year = 2013, month = {}, note = {特願2006-166212(2006/06/15), 特開2007-331981(2007/12/27), 特許第5252675号(2013/04/26)} }