@inproceedings{CTT100835475, author = {廣川二郎 and 戸村崇 and 南方佑介 and 永妻忠夫 and 瀬戸弘之 and 井上良幸 and 加藤邦男 and 齋藤美紀子}, title = {シリコンプロセスを用いた350GHz帯積層薄板接合導波路アンテナの試作}, booktitle = {}, year = 2014, }