@inproceedings{CTT100829177,
  author = {堀口 大河 and 濱田 拓也 and 辰巳 哲也 and 冨谷 茂隆 and 星井 拓也 and 角嶋 邦之 and 筒井 一生 and 若林 整},
  title = {スパッタMoS2膜のSF6プラズマ処理によるシート抵抗低減},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}

@inproceedings{CTT100829201,
  author = {濱田 拓也 and 堀口 大河 and 辰巳 哲也 and 冨谷 茂隆 and 濱田 昌也 and 星井 拓也 and 角嶋 邦之 and 筒井 一生 and 若林 整},
  title = {スパッタMoS2膜のCl2プラズマ処理によるシート抵抗低減},
  booktitle = {},
  year = 2019,
}