@inproceedings{CTT100676124, author = {林原久憲 and 中込将成 and 高村陽太 and 中川茂樹}, title = {FTS法における薄膜初期形成時のin-situ観測}, booktitle = {}, year = 2014, } @inproceedings{CTT100675135, author = {林原久憲 and 高村陽太 and 中川茂樹}, title = {対向ターゲット式スパッタ法を用いたTi/Ru/FeCo多層構造成膜時の異方的内部応力観測}, booktitle = {}, year = 2014, }