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太田惇丈 2019年 研究業績一覧 (2件 / 4件)
国内会議発表 (査読なし・不明)
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宋 ジンハン,
太田 惇丈,
星井 拓也,
若林 整,
筒井 一生,
角嶋 邦之.
Y2O3/SiO2積層構造の絶縁膜を用いたMOS capacitorの特性評価,
第80回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2019.
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太田 惇丈,
宋 禛漢,
星井 拓也,
若林 整,
筒井 一生,
角嶋 邦之.
原子層堆積法を用いたイットリウムシリケート薄膜の形成,
第80回応用物理学会秋季学術講演会,
Sept. 2019.
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