@article{CTT100908519, author = {Yuya Yamashita and Kenta Doi and Tetsuji Kiyota and Kenta Ishi and Shuhei Watanabe and Wataru Kikuchi and Atsushi Nezu and Hiroshi Akatsuka}, title = {Spatial distribution diagnosis of electron temperature and density of argon inductively coupled plasma by tomographic optical emission spectroscopic measurement and collisional-radiative model}, journal = {J. Vac. Sci. Technol. A}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100909733, author = {Kenta Ishi and Kenta Doi and Tetsuji Kiyota and Yuya Yamashita and Kazuma Yoneda and Shuhei Watanabe and Kazuki Shimatani and Atsushi Nezu and Hiroshi Akatsuka}, title = {Population Kinetics and Number Densities of Excited Species in Nitrogen Inductively Coupled Plasma}, booktitle = {Proc. ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908453, author = {石健太 and 土居謙太 and 清田哲司 and 山下雄也 and 米田和真 and 渡邊修平 and 島谷和希 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {誘導結合窒素プラズマ中の励起状態数密度と電子温度の関係性に関する議論}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908454, author = {渡邊修平 and 土居謙太 and 清田哲司 and 山下雄也 and 菊地航行 and 石健太 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {誘導結合酸素プラズマの発光分光計測}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908455, author = {山下航平 and 菊地航行 and 石健太 and 榎本純 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {Ar/N2混合大気圧非平衡プラズマにおける振動温度・回転温度の発光分光計測}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, } @inproceedings{CTT100908457, author = {山下雄也 and 土居謙太 and 清田哲司 and 菊地航行 and 石健太 and 渡邊修平 and 根津篤 and 赤塚洋}, title = {改良分光トモグラフィアルゴリズムによるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断}, booktitle = {第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス}, year = 2024, }