@inproceedings{CTT100755389,
  author = {古賀 達也 and 辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}

@inproceedings{CTT100752532,
  author = {古賀 達也 and 辻 一平 and 高安 基大 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討},
  booktitle = {},
  year = 2017,
}