@inproceedings{CTT100777398,
  author = {Shota Otobe and Tatsuya Koga and Ken Atsumi and Daisuke Yamane and Toshifumi Konishi and Teruaki Safu and Shin-ichi Iida and Hiroyuki. Ito and Noboru Ishihara and Katsuyuki Machida and Kazuya Masu},
  title = {A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100775374,
  author = {市川 崇志 and 新島 宏文 and 古賀 達也 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100775377,
  author = {古賀 達也 and 山根 大輔 and 小西 敏文 and 佐布 晃昭 and 飯田 慎一 and 伊藤 浩之 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760797,
  author = {高安 基大 and 古賀 達也 and 辻 一平 and 伊藤 浩之 and 山根 大輔 and 道正 志郎 and 小西 敏文 and 飯田 慎一 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}

@inproceedings{CTT100760808,
  author = {古賀 達也 and 高安 基大 and 山根 大輔 and 伊藤 浩之 and 小西 敏文 and 道正 志郎 and 石原 昇 and 町田 克之 and 益 一哉},
  title = {積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)},
  booktitle = {},
  year = 2018,
}