@inproceedings{CTT100803037, author = {後藤高寛 and 藤川紗千恵 and 藤代博記 and 小倉睦郎 and 安田哲二 and 前田辰郎}, title = {窒素プラズマ処理を施したAl2O3/GaSb MOS構造の特性評価}, booktitle = {}, year = 2014, }