@inproceedings{CTT100785397,
  author = {清水 亮太 and 笹原 悠輝 and 山本 邦子 and 大口 裕之 and 白木 将 and 折茂 慎一 and 一杉 太郎},
  title = {反応性マグネトロンスパッタ法を用いた単相TiH2薄膜のエピタキシャル成長},
  booktitle = {},
  year = 2016,
}