@article{CTT100843499,
  author = {Mie Tohnishi and Akihiro Matsutani},
  title = {Surface Treatment of Polydimethylsiloxane and Glass Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Microfluidic Devices},
  journal = {Sensors and Materials},
  year = 2021,
}

@inproceedings{CTT100861980,
  author = {佐藤美那 and 遠西美重 and 松谷晃宏},
  title = {エッチングマスクとしてAr+イオンビームを照射した 微細マスクパターンを用いたKOH エッチングによるSi の微細加工},
  booktitle = {},
  year = 2021,
}

@inproceedings{CTT100862005,
  author = {遠西 美重 and 佐藤美那 and 松下祥子 and 松谷晃宏},
  title = {固体ソースH₂O プラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu電極の折り曲げ耐久性},
  booktitle = {},
  year = 2021,
}

@inproceedings{CTT100846099,
  author = {遠西 美重 and 松谷 晃宏},
  title = {固体ソースH₂O プラズマ処理したポジ型フォトレジストの表面粗さの観察},
  booktitle = {},
  year = 2021,
}