@inproceedings{CTT100861877,
  author = {河原和馬 and 金子忠幸 and 安田智貴 and 棚瀬純平 and 高村陽太 and 藤崎敬介 and 中川茂樹},
  title = {対向ターゲット式スパッタ法による高周波動作用CoZrO 薄膜の作製},
  booktitle = {第45 回日本磁気学会学術講演概要集},
  year = 2021,
}