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Research Highlight Title
Japanese:発光分光計測法によるプロセスプラズマの 実践的計測の基礎と応用 
English: 
Author
Japanese: 赤塚洋, 布村正太.  
English: HIROSHI AKATSUKA, Shota Nunomura.  
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Content
Japanese:応用物理学会チュートリアル講演を行った。第１部 基礎～「電子温度・密度、ガス温度、ラジカル密度の測
定」
第１部では衝突輻射モデルに基づいて、発光分光計測結果から電
子温度・密度を導出するための基礎・方法を述べ、次に分子性気
体放電のバンドスペクトル分光解析結果からガス温度の近似値とし
ての回転温度を求める方法を述べ、最後にアクチノメトリー法を用
いた分子気体放電プラズマ中の原子状ラジカルの測定方法を説明
する。
第２部 応用～「プロセスモニタリングへの適用」
第２部では、プロセスプラズマへの適用例を紹介する。太陽電池用
途のプラズマプロセスを取り上げ、発光分光計測に基づくプロセス
モニタリングとプロセスの最適化手法について解説する。 
English: 
Start-End Year 2015-2015 
International Domestic
Japanese Japanese 
URL http://confit-fs.atlas.jp/customer/jsap2015s/jp/General-information_13.pdf
 

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