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特許情報


発明の名称
極紫外光発生装置 
発明者
堀田栄喜, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀岡一彦.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2004/08/10
出願番号
特願2004-233957
公開日
2006/02/23
公開番号
特開2006-054270
備考
審査未請求取下

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