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特許情報


発明の名称
強誘電性薄膜、強誘電性薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 三村和仙, 志村　礼司郎, 井上　ゆか梨, 佐藤　祐介.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＴＤＫ株式会社.  
出願日
2018/08/31
出願番号
特願2018-163377
公開日
2020/03/05
公開番号
特開2020-033629
登録日
2022/04/21
登録番号
特許第7061752号

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