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特許情報


発明の名称
プラズマによる対象物の処理方法およびシステム 
発明者
沖野晃俊, 劉智志, 森結登, 中井一輝.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2021/10/12
出願番号
特願2021-167633
公開日
2023/04/24
公開番号
特開2023-057888

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