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特許情報


発明の名称
プラズマ処理装置 
発明者
沖野晃俊, 社外発明者.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学, アネスト岩田株式会社.  
出願日
2025/07/15
出願番号
PCT/JP2025/025293
公開日
2026/02/05
公開番号
WO 2026/028806

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