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特許情報


発明の名称
プラズマ処理装置 
発明者
沖野晃俊, 大澤泰樹, 櫻田尚月.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学.  
出願日
2025/08/01
出願番号
特願2025-129329
公開日
2026/03/13
公開番号
特開2026-047169

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