面内配向及び熱歪による(Al,Sc)N薄膜の強誘電特性の制御

Publication Information

Title

Japanese:	面内配向及び熱歪による(Al,Sc)N薄膜の強誘電特性の制御
English:

Author

Japanese:	安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 舟窪浩.
English:	Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Reika Ota, Takahisa Shiraishi, Shimizu Takao, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 22, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第69回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	相模原市
English: