α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチング耐性評価

Publication Information

Title

Japanese:	α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチング耐性評価
English:

Author

Japanese:	飯嶋航大, 谷口公太, 大槻秀夫, 神野莉衣奈, 遠西美重, 松谷晃宏, 太田泰友, 岩本敏.
English:	飯嶋航大, 谷口公太, Hideo Ohtsuki, 神野莉衣奈, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani, 太田泰友, 岩本敏.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

16a-K403-2

Published date

Mar. 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2025 年第72 回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:
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