Development of a high precision stage for vacuum environment using parallel mechanism with double ball joints

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a high precision stage for vacuum environment using parallel mechanism with double ball joints

著者

和文:	好田祥基, 一柳健, 武田行生, 廣瀬和也.
英文:	Yoshiki YOSHIDA, Ken ICHIRYU, Yukio TAKEDA, Kazuya HIROSE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. the First IFToMM Asian Conference on Mechanism and Machine Science

巻, 号, ページ

出版年月

2010年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The First IFToMM Asian Conference on Mechanism and Machine Science

開催地

和文:
英文:	Taipei, Taiwan