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論文・著書情報


タイトル
和文:La-silicateゲート絶縁膜の薄膜化を可能とする微結晶金属ゲート電極の研究 
英文:A Study on Metal Gate Electrodes with Nano-Sized Grains for Scalable La-silicate Gate Dielectrics 
著者
和文: KAMALE TUOKEDAERHAN.  
英文: KAMALE TUOKEDAERHAN.  
種別
種別:学位論文(博士)論文要旨 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第9536号 
学位授与日 2014/03/26 
審査員  
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