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論文・著書情報


タイトル
和文:対向ターゲット式スパッタ法を用いたTi/Ru/FeCo多層構造成膜時の異方的内部応力観測 
英文: 
著者
和文: 林原久憲, 高村陽太, 中川茂樹.  
英文: Hisanori Hayashibara, Yota Takamura, Shigeki Nakagawa.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ 1-7A       
出版年月 2014年6月3日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:粉体粉末冶金協会 平成26年度春季大会（第113回講演大会） 
英文: 
開催地
和文:東京都新宿区 
英文: 

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