Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:連続成膜により作製した金属/AlNナノ多層薄膜の回折結晶学的研究 
英文:Diffraction Studies of Metal/AlN Nano-multilayer Films Fabricated using Continuous Deposition 
著者
和文: 春本高志.  
英文: Takashi HARUMOTO.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号 甲第8656号 
学位授与日 2012/03/26 
審査員 中村 吉男.  
ファイル   

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.