連続成膜により作製した金属/AlNナノ多層薄膜の回折結晶学的研究 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	連続成膜により作製した金属/AlNナノ多層薄膜の回折結晶学的研究
英文:	Diffraction Studies of Metal/AlN Nano-multilayer Films Fabricated using Continuous Deposition

著者

和文:	春本高志.
英文:	Takashi HARUMOTO.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第8656号

学位授与日

2012/03/26

審査員

中村　吉男.

ファイル

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