MEMS技術を用いた交流圧力駆動ERマイクロアクチュエータシステムの研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS技術を用いた交流圧力駆動ERマイクロアクチュエータシステムの研究
英文:

著者

和文:	三好智也.
英文:	Tomoya Miyoshi.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第10538号

学位授与日

2017/03/26

審査員

吉田和弘, 金俊完, 進士忠彦, 只野耕太郎, 髙山俊男.

ファイル

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