MEMS-LSI集積化による小型高精度かつ高信頼性を指向した容量式センサ技術の研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS-LSI集積化による小型高精度かつ高信頼性を指向した容量式センサ技術の研究
英文:

著者

和文:	藤森司.
英文:	Tsukasa Fujimori.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第10667号

学位授与日

2017/09/20

審査員

杉野暢彦, 小林隆夫, 中村健太郎, 黒澤実, 伊藤浩之.

ファイル

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