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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Importance of MoS2-Compound Sputtering even with Sulfur-Vapor Anneal for Chip-Size Fabrication 
著者
和文: 今井 慎也, 濱田 拓也, 濱田 昌也, 白倉 孝典, 冨谷 茂隆, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 辰巳 哲也, 筒井 一生, 若林 整.  
英文: Shinya Imai, Takuya Hamada, Masaya Hamada, Takanori Shirokura, Shigetaka Tomiya, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Tetsuya Tatsumi, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2020年9月 
出版者
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会議名称
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英文:International Conference of Solid State Devices and Materials (SSDM) 2020 
開催地
和文: 
英文: 

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