Elucidation of PVD MoS2 Film Formation Process and its Structure Focusing on Sub-Monolayer Region

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Elucidation of PVD MoS2 Film Formation Process and its Structure Focusing on Sub-Monolayer Region

著者

和文:	小野凌, 今井慎也, 草間優太, 濱田拓也, 濱田昌也, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 狩野絵美, 五十嵐信行, 若林整.
英文:	Ryo Ono, Shinya Imai, Yuta Kusama, Takuya Hamada, Masaya Hamada, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Emi Kano, Nobuyuki Ikarashi, Hitoshi Wakabayash.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)

巻, 号, ページ

Vol. 61

出版年月

2022年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: