MoS2膜質のスパッタ成膜レート依存性調査

論文・著書情報

タイトル

和文:	MoS2膜質のスパッタ成膜レート依存性調査
英文:

著者

和文:	今井慎也, 小野凌, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 筒井一生, 若林整.
英文:	Shinya Imai, Riyo Ono, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月21日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	83th JSAP Autumn meeting

開催地

和文:	仙台市
英文: