スパッタMoS2膜に対するエッジ金属コンタクトの電流電圧特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタMoS2膜に対するエッジ金属コンタクトの電流電圧特性
英文:

著者

和文:	今井慎也, 梶川亮介, 川那子高暢, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 筒井一生, 若林整.
英文:	Shinya Imai, Ryosuke Kajikawa, Takamasa Kawanago, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	84th JSAP Autumn meeting

開催地

和文:	熊本市
英文:	Kumamoto