Discussion on Number Densities of Excited States and Gas Temperature in Inductively Coupled Nitrogen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Discussion on Number Densities of Excited States and Gas Temperature in Inductively Coupled Nitrogen Plasma

著者

和文:	石健太, 米田和真, 山下雄也, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	K. Ishi, K. Yoneda, Y. Yamashita, A. Nezu, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	E-Abstract book of The 13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023)

巻, 号, ページ

p. 140

出版年月

2023年11月5日

出版者

和文:
英文:	International Program Committee of AEPSE2023

会議名称

和文:
英文:	The 13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023)

開催地

和文:	釜山
英文:	Busan

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