論文

• Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Kenta Ishi, Shuhei Watanabe, Wataru Kikuchi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Spatial distribution diagnosis of electron temperature and density of argon inductively coupled plasma by tomographic optical emission spectroscopic measurement and collisional-radiative model, J. Vac. Sci. Technol. A, AIP Publishing, Vol. 42, No. 2, 023003, Jan. 2024.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• H. Akatsuka, S. Watanabe, K. Doi, T. Kiyota, Y. Yamashita, W. Kikuchi, K. Ishi, Y. Ye, A. Nezu. Optical Emission Spectroscopic Measurement of Electron Temperature and Density of Oxygen ICP, The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024), Proc. DPS2024, International Symposium on Dry Process Organizing Committee, pp. 81-82, Nov. 2024.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読なし・不明)

• Kenta Ishi, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuya Yamashita, Kazuma Yoneda, Shuhei Watanabe, Kazuki Shimatani, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka. Population Kinetics and Number Densities of Excited Species in Nitrogen Inductively Coupled Plasma, ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13, Proc. ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13, Organizing Committee of ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13, Mar. 2024.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 山下航平, 菊地航行, 石健太, 榎本純, 根津篤, 赤塚洋. Ar/N2混合大気圧非平衡プラズマにおける振動温度・回転温度の発光分光計測, 第41回プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 84 - 85, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 石健太, 土居謙太, 清田哲司, 山下雄也, 米田和真, 渡邊修平, 島谷和希, 根津篤, 赤塚洋. 誘導結合窒素プラズマ中の励起状態数密度と電子温度の関係性に関する議論, 第41回プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 30-31, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 山下雄也, 土居謙太, 清田哲司, 菊地航行, 石健太, 渡邊修平, 根津篤, 赤塚洋. 改良分光トモグラフィアルゴリズムによるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断, 第41回 プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 64 - 65, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• 渡邊修平, 土居謙太, 清田哲司, 山下雄也, 菊地航行, 石健太, 根津篤, 赤塚洋. 誘導結合酸素プラズマの発光分光計測, 第41回プラズマプロセシング研究会, 第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, pp. 82 - 83, Jan. 2024.  公式リンク  
  

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