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論文・著書情報


タイトル
和文:Ar/N2混合大気圧非平衡プラズマにおける振動温度・回転温度の発光分光計測 
英文:Optical Emission Spectroscopy Measurement of Vibrational and Rotational Temperatures in Ar/N2 Mixed Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium Plasma 
著者
和文: 山下航平, 菊地航行, 石健太, 榎本純, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: Kohei Yamashita, Wataru Kikuchi, Kenta Ishi, Jun Enomoto, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 
英文:Proceedings of 41st Symposium on Plasma Processing (SPP-41) 
巻, 号, ページ         pp. 84 - 85
出版年月 2024年1月19日 
出版者
和文:応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 
英文:Plasma Electronics Division, Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第41回プラズマプロセシング研究会 
英文:The 41st Symposium on Plasma Processing 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://gakkai-gran.jp/spp41/
 
アブストラクト The vibrational and rotational temperatures in argon/nitrogen mixed atmospheric-pressure non-equilibrium plasma were determined through optical emission spectroscopy measurement and the fitting of calculated and experimental spectra. The results revealed a decreasing trend in rotational temperatures as the nitrogen rate increased. In addition, it was observed that the trends in vibrational and rotational temperatures changed at the discharge voltage approximately 7.2 kV.

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