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論文・著書情報


タイトル
和文:改良分光トモグラフィアルゴリズムによるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断 
英文:Spatial Diagnosis of Electron Temperature and Density of Argon Inductively Coupled Plasma by Improved Spectral Tomography Algorithm 
著者
和文: 山下雄也, 土居謙太, 清田哲司, 菊地航行, 石健太, 渡邊修平, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Wataru Kikuchi, Kenta Ishi, Shuhei Watanabe, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第41回 プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 
英文:Proceedings of 41st Symposium on Plasma Processing (SPP-41) 
巻, 号, ページ         pp. 64 - 65
出版年月 2024年1月20日 
出版者
和文:応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 
英文:Plasma Electronics Division, Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第41回 プラズマプロセシング研究会 
英文:The 41st Symposium on Plasma Processing (SPP-41) 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://gakkai-gran.jp/spp41/
 
アブストラクト Conventional tomography algorithms do not adequately take into account the metrological properties of plasma spectroscopy. An improved spectral tomography algorithm for optical emission spectroscopic measurement of plasmas is proposed. Furthermore, electron temperature and electron density were diagnosed based on a collisional-radiative model. The effect of line-of-sight placement on the diagnostic results of electron temperature and electron density was discussed.

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