Serpentine Spring Design Technique for High Sensitivity MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated by Gold Multi-layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Serpentine Spring Design Technique for High Sensitivity MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated by Gold Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	御宿希祐, TENNETI DEVI, 大西哲, 町田克之, 栗岡智行, Chang Tso-Fu Mark, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
英文:	Kisuke Miyado, Devi Srujana Tenneti, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 4 p. 04SP23

出版年月

2024年2月9日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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