MEMS加速度センサへの応用に向けためっき金の微小圧縮試験によるひずみ速度依存性調査

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS加速度センサへの応用に向けためっき金の微小圧縮試験によるひずみ速度依存性調査
英文:	Investigation of strain rate dependence by micro-compression testing of electrodeposited gold for MEMS accelerometer applications

著者

和文:	菅野翔太, 大村太郎, 栗岡智行, Chun-Yi Chen, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人.
英文:	Syota Kanno, Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun Yi Chen, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc.

巻, 号, ページ

p. 23a-12K-3

出版年月

2024年3月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 71st JSAP Spring Meeting 2024

開催地

和文:
英文: