|
菅野翔太 研究業績一覧 (3件 / 9件)
国際会議発表 (査読有り)
-
Shota Iima,
Tomoyuki Kurioka,
Shota Kanno,
Chun Yi-Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
Katsuyuki Machida,
Hiroyuki Ito,
Yoshihiro Miyake,
Masato Sone.
Micro-Mechanical Properties of Annealed Electrodeposited Gold for Design of MEMS Structural Components,
MNE2025 Southampton,
MNE2025 Southampton,
Sept. 2025.
国内会議発表 (査読有り)
-
飯間 翔太,
栗岡 智行,
菅野 翔太,
Chun Yi-Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
電解金めっき錘搭載静電容量型MEMS加速度センサの設計に向けた電解金めっき膜の微小機械特性と熱処理影響の評価,
第17回集積化MEMSシンポジウム,
Nov. 2025.
-
飯間 翔太,
栗岡 智行,
菅野 翔太,
Chun Yi-Chen,
Tso-Fu Mark Chang,
町田 克之,
伊藤 浩之,
三宅 美博,
曽根 正人.
微小圧縮試験による Ti/Au 積層膜上の電解金めっき膜の機械特性評価,
第72回応用物理学会春季学術講演会,
応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2025.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|