異種材料集積光回路作製に向けたパーティクルフリーリニア型プラズマによるシリコンウェハの処理

論文・著書情報

タイトル

和文:	異種材料集積光回路作製に向けたパーティクルフリーリニア型プラズマによるシリコンウェハの処理
英文:	Silicon surface treatment by atmospheric linear type particle free plasma for fabrication of heterogeneous material integrated optical circuits

著者

和文:	日原弘喜, 古谷淳之介, 八井田朱音, 沖野晃俊, 西山伸彦.
英文:	Koki Hihara, Junnosuke Furuya, Akane Yaida, AKITOSHI OKINO, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2024年3月22日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2024年第71回応用物理学会春季学術講演
英文:	The 71st JSAP Spring Meeting2024

開催地

和文:	東京都
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