Dependence of Applied Voltage on Effective Young’s Modulus of  Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dependence of Applied Voltage on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers

著者

和文:	渡邉春海, Shunkai Watanabe, 栗岡智行, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, TENNETI DEVI, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Syunkai Watanabe, Shunkai Watanabe, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Tenneti Devi Srujana, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier)

巻, 号, ページ

出版年月

2024年9月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier)

開催地

和文:
英文: