Impact of Underlying Insulators on the Crystallinity and Antisite Defect Formation in PVD-MoS2 Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Impact of Underlying Insulators on the Crystallinity and Antisite Defect Formation in PVD-MoS2 Films

著者

和文:	松永尚樹, 今井慎也, 白倉孝典, 望月泰英, 桑畑和明, 筒井一生, 角嶋邦之, 若林整.
英文:	Naoki Matsunaga, Shinya Imai, Takanori Shirokura, Yasuhide Mochizuki, Kazuaki Kuwahata, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of the Electron Devices Society

巻, 号, ページ

出版年月

2024年10月1日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI