国内会議発表 (査読有り)

• 山田 虎人, 向出 千隼, 栗岡 智行, 町田 克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之. 長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 向出 千隼, 山田 虎人, 栗岡 智行, 町田 克之, Chun-Yi Chen, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 曽根 正人, 伊藤 浩之. ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサにおける検出範囲の検討, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 高畑 寿志, 栗岡 智行, 山田 虎人, 向出 千隼, 町田 克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 曽根 正人. Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対するTi/Au膜厚の影響評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 奥村 雅子, 栗岡 智行, 山田 虎人, 森 達彦, 向出 千隼, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 町田 克之, 曽根 正人. 円形金錘1軸静電容量型MEMS加速度センサの構造とデバイス特性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.

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