論文

• Yuki Taoka, Tomohiro Ryo, Sanchuan XU, Shigeki SAITO. Electrostatic chuck having compliant multi-beam structures with rotatable bipolar pad-shaped electrodes, Engineering Research Express, IOP Publishing, Vol. 6, No. 1, pp. 015046, Jan. 2024.  公式リンク  
  
• Ryo Tomohiro, Yuki Taoka, Shigeki Saito. Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet, MRS Advances, Aug. 2022.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 凌智寛, 田岡祐樹, 齋藤滋規. 梁先端に回転自由度 を有する微細毛双極 型静電チャックの開 発, 2022年度精密工学会春季大会学術講演会, 2022年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, Mar. 2022.
• 凌 智寛, 田岡 祐樹, ヘムタビー パソムポーン, 高橋 邦夫, 齊藤 滋規. 複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法に開発, 2020年度精密工学会春季大会学術講演会, 2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, p. 499-500, Mar. 2020.

特許など

• 齋藤滋規, 凌智寛, 田岡祐樹, XUSanchuan. 静電吸着デバイス及び静電吸着方法. 特許. 公開. 国立大学法人東京工業大学. 2022/08/17. PCT/JP2022/031126. 2023/02/23. WO 2023/022180. 2023.

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