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前川伸祐 研究業績一覧 (11件)
論文
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Shinsuke Maekawa,
Lander Verstraete,
Hyo Seon Suh,
Takehiro Seshimo,
Takahiro Dazai,
Kazufumi Sato,
Kan Hatakeyama,
Yuta Nabae,
Teruaki Hayakawa.
High-Fidelity Directed Self-Assembly Using Higher-chi Polystyrene-Block-Poly(Methyl Methacrylate) Derivatives for Dislocation-Free Sub-10 nm Features,
Advanced Functional Materials,
John Wiley & Sons, Ltd,
Vol. n/a,
No. n/a,
pp. 2421066,
Jan. 2025.
公式リンク
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Riku Mizusaki,
Shinsuke Maekawa,
Takehiro Seshimo,
Takahiro Dazai,
Kazufumi Sato,
Kan Hatakeyama-Sato,
Yuta Nabae,
Teruaki Hayakawa.
Dual function of precisely modified hydroxy-PS-b-PMMA as neutral layers and thin films for perpendicularly oriented lamella,
RSC Applied Interfaces,
RSC,
Vol. 2,
No. 1,
pp. 74-81,
Aug. 2024.
公式リンク
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Shinsuke Maekawa,
Takehiro Seshimo,
Takahiro Dazai,
Kazufumi Sato,
Kan Hatakeyama,
Yuta Nabae,
Teruaki Hayakawa.
Chemically tailored block copolymers for highly reliable sub-10-nm patterns by directed self-assembly,
Nature Communications,
Vol. 15,
No. 1,
pp. 5671,
July 2024.
公式リンク
特許など
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早川晃鏡,
前川伸祐,
上原綾太,
瀬下 武広 ,
太宰 尚宏 .
エッチングマスクパターンの製造方法及びエッチングマスクパターン形成用樹脂組成物.
特許.
公開.
国立大学法人東京科学大学, 東京応化工業株式会社.
2024/04/17.
特願2024-067050.
2024/11/08.
特開2024-159590.
2024.
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早川晃鏡,
前川伸祐,
上原綾太,
瀬下 武広,
宮城 賢,
太宰 尚宏.
エッチングマスクパターン形成用樹脂組成物、及びエッチングマスクパターンの製造方法.
特許.
公開.
国立大学法人東京科学大学, 東京応化工業株式会社.
2024/04/17.
特願2024-066934.
2024/11/14.
特開2024-160688.
2024.
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早川晃鏡,
前川伸祐,
水嵜陸,
上原 卓也,
太宰 尚宏.
相分離構造を含む構造体の製造方法、及び組成物.
特許.
公開.
国立大学法人東京科学大学, 東京応化工業株式会社.
2023/06/22.
特願2023-102849.
2025/01/09.
特開2025-002575.
2025.
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早川晃鏡,
前川伸祐,
水嵜陸,
上原 卓也,
太宰 尚宏 .
ブロックコポリマー、下地剤、相分離構造形成用組成物成用樹脂組成物、
及び相分離構造を含む構造体の製造方法.
特許.
公開.
国立大学法人東京科学大学, 東京応化工業株式会社.
2023/06/22.
特願2023-102848.
2025/01/09.
特開2025-002574.
2025.
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早川晃鏡,
前川伸祐,
上原綾太,
瀬下 武広 ,
太宰 尚宏.
エッチングマスクパターン形成用樹脂組成物、及びエッチングマスクパターンの製造方法.
特許.
公開.
国立大学法人東京科学大学, 東京応化工業株式会社.
2023/04/27.
特願2023-073814.
2024/11/08.
特開2024-158543.
2024.
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