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奥野聰 研究業績一覧 (1件)
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論文
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Rinji Sugino,
Yoshiko Okui,
Mayumi Shigeno,
Satoshi Okuno,
Kanetake Takasaki,
Takashi Ito.
Dry Cleaning for Fe Contaminants on Si and SiO2 Surfaces with Silicon Chlorides,
J. Electrochem. Soc.,
Vol. 114,
No. 11,
pp. 3984-3988,
1997.
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