国内会議発表 (査読なし・不明)

• 河鰭 康平, 田岡 祐樹, ヘムタビー パソムポーン, 高橋 邦夫, 齊藤 滋規. 微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討, 2020年度精密工学会春季大会学術講演会, 2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, p. 501-502, Mar. 2020.
• 河鰭 康平, HEMTHAVYPASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規. 微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響, 日本機械学会第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会第9回マイクロ・ナノシンポジウム講演論文集, Oct. 2018.

その他の論文・著書など

• Yuki Taoka, Kohei Kawabata, Pasomphone Hemthavy, Seungman Choi, Kunio Takahashi, Shigeki Saito. Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography, International Journal of Automation Technology, Vol. 16, No. 4, pp. 471-477, July 2022.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]