国際会議発表 (査読有り)

• Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Effects of Annealing on Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-layered Micro-Cantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers, MNE2025 Southampton, MNE2025 Southampton, Sept. 2025.

国内会議発表 (査読有り)

• 森 達彦, 栗岡 智行, 渡邉 春海, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人. 静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニーリングの影響評価, 第17回集積化MEMSシンポジウム, Oct. 2025.

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