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松谷晃宏 研究業績一覧 (8件 / 625件)
論文
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Mina Sato,
Mie Tohnishi,
Akihiro Matsutani.
Microfabrication of Si by KOH Etchant Using Etching Masks Amorphized by Ion Beam Extracted From Electron Cyclotron Plasma,
Sensors and Materials,
Vol. 36,
No. 4,
pp. 1319-1328,
Apr. 2024.
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Takumi MOCHIDA,
Akihiro MATSUTANI,
Wataru HIJIKATA.
Development of implantable energy-harvesting system utilizing incomplete tetanus of skeletal muscle,
Journal of Biomechanical Science and Engineering,
Apr. 2024.
国際会議発表 (査読有り)
国内会議発表 (査読なし・不明)
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松谷晃宏,
遠西美重,
吉田 桜子.
OsコーティングによるSU-8膜の梁構造の機械的強度の向上,
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会,
23p-P05-36,
Mar. 2024.
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松谷晃宏.
擦弦によるヴィオラA弦の演奏音の周波数応答の測定,
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会,
23p-P05-37,
Mar. 2024.
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藤本美穂,
松谷晃宏.
裏面露光によるサブミクロン直径のSU-8円柱構造の作製と蛍光観察,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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佐藤美那,
遠西美重,
松谷晃宏.
イオンビーム照射によりアモルファス化したSi表面のXRR測定,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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遠西美重,
松下祥子,
松谷晃宏.
Deep-RIEで作製したブラックGeの微細構造側壁のスキャロップ深さと反射率との関係,
第71回応用物理学会春季学術講演会,
Mar. 2024.
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