論文

• Sotaro Kageyama, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Keisuke Ide, Kota Hanzawa, Yoshiomi Hiranaga, Pochun Hsieh, Sankalpa Harza, Albert Suceava, Akash Saha, Hiroko Yokota, Kei Shigematsu, Masaki Azuma, Venkatraman Gopalan, Hiroshi Uchida, Hidenori Hiramatsu, Hiroshi Funakubo. Realization of Non-Equilibrium Wurtzite Structure in Heterovalent Ternary MgSiN2 Film Grown by Reactive Sputtering, Adv. Electron. Mater., Vol. 2025, No. 2400880, p. 1-8, Jan. 2025.

国内会議発表 (査読なし・不明)

• 河野駿平, 岡本一輝, 影山壮太郎, 孫納納, 安岡慎之介, 舟窪浩. (Al,Sc)N強誘電体薄膜におけるスイッチング特性の結晶構造依存性, 第72回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.
• 影山壮太郎, 岡本一輝, 平永良臣, 舟窪浩. ウルツ鉱構造(Mg,Si)N-AlN固溶体薄膜の作製と評価”、第72回応用物理学会春季学術講演会, 第72回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.
• 影山壮太郎, 岡本一輝, 平永良臣, 上岡義弘, 召田雅実, 舟窪浩. ウルツ鉱構造異原子価3元系窒化物MgSiN2薄膜の作製と評価, 第72回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2025.
• 影山壮太郎, 岡本一輝, 平永良臣, 舟窪浩. 異原子価３元系窒化物MgSiN2薄膜の２段階成膜による結晶化温度の低減, 第63回セラミックス基礎科学討論会, Jan. 2025.
• 河野駿平, 岡本一輝, 影山壮太郎, 孫納納, 舟窪浩. (Al,Sc)N強誘電体薄膜の結晶構造及び電気特性に及ぼす成膜条件の影響, 第63回セラミックス基礎科学討論会, Jan. 2025.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]