Tokyo Tech Research Repository (T2R2)

Patent Information

Title

酸化物膜を用いた薄膜トランジスタの製造方法

Author

HIDEO HOSONO, TOSHIO KAMIYA.

Kind

Patent

Status

Published

Applicant

国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.

Filing Date

2012/03/15

Application Number

特願2012-058163

Unexamined Application Date

2012/06/28

Publication Number

特開2012-124532

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